Vật Lý và Kỹ Thuật Màng Mỏng - Nguyễn Năng Định, 240 Trang

“Vật lý và kỹ thuật màng mỏng” là môn học cơ sở của ngành Vật lý kỹ thuật thuộc Trường Đại học Công nghệ, Đại học Quốc gia Hà Nội. Giáo trình “Vật lý và kỹ thuật màng mỏng” được biên soạn nhằm phục vụ giảng dạy và học tập trong Khoa Vật lý kỹ thuật và Công nghệ nanô, Trường Đại học Công nghệ. Giáo trình giúp sinh viên củng cố và nắm vững các kiến thức cơ bản về kỹ thuật chân không, công nghệ chế tạo màng mỏng và các phương pháp phân tích đặc trưng của màng mỏng. Giáo trình gồm tám chương:
Chương 1. Nhập môn vật lý và kỹ thuật màng mỏng
Chương 2. Động học chất khí
Chương 3. Hấp phụ và ngưng tụ
Chương 4.Vật lý và kỹ thuật chân không cao
Chương 5. Lý thuyết bốc bay chân không
Chương 6. Chế tạo màng mỏng bằng kỹ thuật chân không
Chương 7. Phương pháp phún xạ
Chương 8. Các phương pháp phân tích đặc trưng màng mỏng
Giáo trình còn nhằm mục đích phục vụ các đối tượng học tập và nghiên cứu về vật lý chân không và công nghệ vật liệu trong các ngành kỹ thuật thuộc các trường đại học thuộc khoa học tự nhiên, bách khoa, công nghệ của cả nước. Trong giáo trình có nhiều dữ liệu tin cậy, cập nhật có thể l àm tài liệu tra cứu, tham khảo cho các học vi ên cao học, nghiên cứu sinh hay các kỹ sư, kỹ thuật viên làm việc tại các cơ sở sản xuất công nghiệp có li ên quan đến kỹ thuật chân không và công nghệ nói chung, đặc biệt là công nghệ vật liệu và linh kiện dưới dạng màng mỏng.
Mặc dù sách và tài liệu tham khảo về vật lý và công nghệ màng mỏng trên thế giới là vô cùng phong phú cả về số lượng và chất lượng, ở nước ta tài liệu bằng tiếng Việt về lĩnh vực n ày còn rất hạn chế. Giáo tr ình này được biên soạn trên cơ sở đúc kết kinh nghiệm nghi ên cứu khoa học và giảng dạy về vật lý và kỹ thuật màng mỏng của bản thân tác giả. Hy vọng rằng nó sẽ có tác dụng hữu ích, góp phần thực hiện chủ trương xây dựng Trường Đại học Công nghệ trở thành một trường đại học nghiên cứu đặc trưng công nghệ ở nước ta.

Download File: http://www.thuvienso.info/index.php/component/thuvientructuyen/chitiet/xem/16702/vat-ly-va-ky-thuat-mang-mong-nguyen-nang-dinh-240-trang#ixzz1lF8wyyuZ